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MEMS工艺服务
 时间:2019-05-30 | 浏览: 次 | 来源:天羿领航
业务范围

1、MEMS工艺清洗、氧化、光刻、膜层溅射、干湿法刻蚀、键合、切割、封装等加工工艺服务;
2、生产工艺测试服务;
3、可靠性/稳定性测试服务;
4、惯性器件功能、性能等综合指标测试。

MEMS工艺服务清单